2010年4月13日 伊万里市のＳＵＭＣＯシリコンウエハー素材製造工場で爆発

（2010年9月２日　旧ブログ掲載記事）

 

以下の記事が、ネットに掲載されていた。

 

４月１３日午後５時１０分ごろ、工場２階でシリコンを加工する炉に残ったカスを吸引機で清掃中に１階のゴミ集塵機付近で爆発が起き、清掃していた人がやけどした。

吸引機と集塵機はパイプでつながっており、カスに可燃性のものも含まれているところから、粉じん爆発を起していないか、詳しい原因を調査中。

 

http://www.saga-s.co.jp/news/saga.0.1612592.article.html

 

 

（ブログ者コメント）

 

爆発した物質は、シリコンのカス（ケイ素単体？）？しかし、ケイ素は、爆発下限濃度60ｍｇ/ｍ3、最小着火エネルギー250mjと、かなり爆発し難い物質。とすれば、カスに含まれていた可燃性物質が爆発したのかも。

一方、着火源は、おそらく静電気。集塵機の濾布は導電性繊維製だったのだろうか？

 

 

また、４月１４日付の朝日新聞佐賀版（聞蔵）に、以下の趣旨の記事が掲載されていた。

 

同僚と、半導体の材料になるシリコンを溶かす炉の周りで、たまったシリコンのカスを業務用の大型掃除機で吸い取っていた際、同僚が持っていた掃除機のホースから火が噴き出た。

 

2011/04/15 (Fri) 【粉塵爆発】　金属粉・穀類粉等 Trackback() Comment(0)