2016年6月15日 茨城県つくば市の産総研でシランと水素使用の半導体結晶成長装置の内部を掃除機で清掃中、爆発が起こり、職員１名が顔や両腕に２度の熱傷 （修正１）

2016年6月15日付で産総研ＨＰに、下記趣旨の記事がニュースとして掲載されていた。

 

平成２８年６月１５日（水）午前９時４０分頃、つくばセンターつくば西事業所、西５－Ⅾ棟１階の実験室に設置しているシランガス及び水素ガス^（注）を使用する半導体結晶成長装置のメンテナンス作業中に、同装置で一瞬の爆発が発生しました。

 

発生後、火はすぐ消えましたが、念のため、消火器を使用しました。

なお、火災発生の際にメンテナンス作業を行っていた契約職員１名が火傷を負い、現在、搬送先で治療を受けております。

 

この火災による周辺環境への影響はございません。

発生原因は、現在、調査中です。

日頃から、防災および安全の確保に努めていたにも関わらず、今回のような火災が発生し、周辺の皆様方にご迷惑とご心配をおかけしたことを深くお詫び申し上げます。

 

（注）シランガス及び水素ガスは、半導体製造プロセスで一般的に用いられているガスで、本件事故発生の現場でも、半導体関係の実験のために用いられておりました。

 

出典

『つくばセンターつくば西事業所の火災事故発生について』

http://www.aist.go.jp/aist_j/news/au20160615.html

 

 

6月16日付で毎日新聞茨城版からも、同趣旨の記事がネット配信されていた。

6月15日付でつくば市からも、同趣旨の記者発表記事がネット配信されていた。

 

１５日午前９時４５分ごろ、つくば市小野川の産業技術総合研究所つくばセンター実験室で、半導体を開発するための機械が爆発し、現場にいた研究補助員の女性（４１）が顔や両腕に２度の熱傷を負った。

命に別条はないという。

 

警察などによると、研究員など３人が機械を掃除機で清掃中に突然火が出て、すぐに消えたという。

 

建物などへの被害はなく、ほかの２人にけがはなかった。

清掃中、機械は動いていなかった。

 

警察や産総研が原因を調べている。

 

出典

『爆発　つくばの産総研の機械　職員やけど　／茨城』

http://mainichi.jp/articles/20160616/ddl/k08/040/045000c

『産業技術総合研究所で発生した爆発事故の件』

https://www.city.tsukuba.ibaraki.jp/dbps_data/_material_/_files/000/000/019/732/No52.pdf

 

 

 

（２０１６年１０月９日　修正１　；追記）

 

6月16日付の茨城新聞紙面に、事故のやや詳しい状況が、下記趣旨の記事が掲載されていた。

 

爆発があったのは、ナノテクノロジー（超微細技術）の研究拠点「つくばイノベーションアリーナ推進センター共同施設」内の実験室。

 

警察によると、実験装置は幅約０．７４ｍ、奥行き約１．７３ｍ、高さ約１．０５ｍの大きさ。

女性が掃除機を使い、実験装置の内部にたまった廃材を除去していたところ、装置から突然、炎が上がった。

火はすぐ消えた。

 

産総研によると、爆発した実験装置は、有害のシランガスと爆発性のある水素ガスを使う。

事故当時は、装置の電源は切られ、ガスを送り込む元栓も閉まった状態だったという。

 

 

 

 

2016/06/22 (Wed) 【高反応性物質】　特殊材料ｶﾞｽ等 Comment(0)